PSMP

獨立間距控制頭

PSIVH 系列

每個拾取單元均由專屬線性馬達驅動。單一控制頭即可對應等間距、不規則及隨機排列。

0.1 ㎛位置解析度
±0.003 mm重複定位精度
1,000 mm/s最高速度
3 G最大加速度
獨立間距控制頭的產品渲染圖(4 軸組態範例):四支拾取桿以不同間距懸掛於黑色本體下方。

間距控制

間距變換會將從托盤拾取的零件間距調整為製程所需間距。方式分為等間距變換與個別控制,本產品採用個別控制方式。

等間距變換方式

所有拾取單元維持相同間距並同步移動,適合重複進行等間距變換。

等間距變換示意圖:變換前等距排列的六個拾取單元,在變換後以更大的間距排列,彼此仍維持等距。

獨立間距控制本產品

每個拾取單元獨立移動,可支援非對稱排列及各單元的位置補償。

獨立間距控制示意圖:變換前等距排列的六個拾取單元,在變換後各自移動到不同間距的位置。

主要特色

各軸獨立控制
每個拾取單元皆可獨立控制,單一控制頭即可處理等間距、不規則及隨機排列。
精巧型直接驅動
線性馬達內建於控制頭,不需滾珠螺桿、皮帶或外部驅動機構。
高速獨立運動
每個拾取單元可獨立運動,最高達 3 G 與 1,000 mm/s。
絕對位置回授
高解析度絕對值編碼器即時回報位置,因此控制頭無須回原點即可運作。
視覺回授 0.1 µm 位置補償
依據視覺回授,以 0.1 µm 為增量補償每個拾取單元的位置。
低維護需求
由於無凸輪、連桿或皮帶,磨耗與背隙較少,有助於長期維持精度。

控制頭內部結構

控制頭內部剖視渲染圖:頂部是介面電路板,上下各有一排紅色與藍色磁鐵陣列,四個拾取單元塊在其間移動,兩端設有線性導軌。
  • 磁鐵陣列
  • UVW 線性馬達線圈
  • 光學式絕對值編碼器
  • 附保護蓋的編碼器尺規
  • 介面電路板
  • 線性導軌
  • 拾取單元塊
  • 高撓性電纜

應用

安裝於設備中的獨立間距控制頭,正將四個吸嘴降至晶圓平台上方。
示意圖:左側 4×4 托盤格位經箭頭後,變為一排等距排列的六個拾取單元。

托盤至製程的間距變換

將托盤間距轉換為製程所需間距。

示意圖:視覺相機觀察下方數個拾取單元,並測量各自的位置偏差。

視覺位置偏差補償

依視覺回授補償各拾取單元的位置。

示意圖:五個間距不同的拾取單元,分別對準分散排列的方形零件位置。

支援非對稱排列

將不規則托盤排列轉換為製程所需排列。

規格

規格會依組態而異。・以下數值為 4 軸組態範例。

型號編碼

  1. PSIVH系列
  2. 拾取單元數量
    • 02:2 個並列
    • 04:4 個並列
    • 另有其他規格可供選擇
  3. 最大移動間距
    • 100 : 100 mm
    • 300 : 300 mm
    • 另有其他規格可供選擇
  4. 每個拾取單元的負載
    • 300 : 300 g
    • 500 : 500 g
    • 另有其他規格可供選擇
獨立間距控制頭技術規格
系列PSIVH
驅動方式線性馬達・直接驅動
位置重複精度±0.003 mm
位置解析度0.1 ㎛
最高速度1,000 mm/s
最大加速度3 G
供應電壓24 / 48 Vdc
每個拾取單元的電源24 Vdc · 1 A
功率(額定/峰值)6.12 / 10.7 W
推力(額定/峰值)12.2 / 21.4 N
電流(額定/峰值)0.8 / 1.4 Arms
推力常數15.28 N/Arms
相數3
磁鐵間距14.1 mm
編碼器光學式絕對值
輸出訊號Biss-C
感測器電壓5 Vdc
軸數4
最大移動間距270 mm
每個拾取單元的負載700 g
外形尺寸318(寬)× 38(深)× 170(高)mm
總重量約 4 kg
安裝部位4-M5 TAP DP8・Ø5/Ø4 定位銷
連接器Molex 105310-1216 × 4(對接連接器:105308-1216)

※ 以 15–60 mm 間距範圍為基準。

尺寸與選配

4 軸組態範例的外形圖。俯視、正視、側視與背視圖標示總寬 318 mm、高 170.20 mm、深 38.20 mm、4-M5 安裝螺紋孔及 Molex 連接器位置。圖中的 PSIVH-04-270-700 為此範例組態的型號。
設計確認前請核對

拾取單元塊依客戶圖面製作。請以核准圖面確認安裝條件。

選配

示意圖:紅色箭頭從上、下、左、右四個方向指向控制頭本體。

4 面安裝

可從上、下、左、右四面安裝,方向不限。

示意圖:Molex 電纜插入控制頭背面的連接器。

Molex 快速接線

Molex 連接器可快速連接電纜並完成配線。

示意圖:量錶測頭接觸拾取桿,以測量直線度。

拾取單元精密對位

使用量錶校準,直線度控制在 0.01 mm 以內。

下載

型錄

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資料來源:產品型錄

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