PSMP

個別ピッチ制御ヘッド

PSIVHシリーズ

各アタッチをそれぞれのリニアモーターで駆動します。1台のヘッドで等ピッチ、不規則、ランダムな配列に対応します。

0.1 ㎛位置分解能
±0.003 mm繰り返し精度
1,000 mm/s最高速度
3 G最大加速度
個別ピッチ制御ヘッドの製品レンダリング(4軸構成例)。黒い本体から4本のアタッチバーが異なる間隔で下がっています。

ピッチ制御

ピッチ変換は、トレーから取り上げた部品の間隔を工程で必要な間隔に変える動作です。方式は等ピッチ可変型と個別制御型に分かれ、この製品は個別制御型です。

等ピッチ可変方式

すべてのアタッチが同じ間隔を保ちながら同時に動きます。繰り返し行う等ピッチ変換に適しています。

等ピッチ可変方式の図。変換前に等間隔で並ぶ6個のアタッチが、変換後も等間隔を保ちながら、より広い間隔に開きます。

個別ピッチ制御この製品

各アタッチが独立して動きます。非対称配列とアタッチごとの位置補正に対応します。

個別ピッチ制御の図。変換前に等間隔で並ぶ6個のアタッチが、変換後にはそれぞれ異なる間隔の位置へ移動します。

主な特長

各軸の独立制御
各アタッチを個別に制御できるため、1台のヘッドで等ピッチ、不規則、ランダムな配列に対応します。
コンパクトなダイレクトドライブ
リニアモーターをヘッドに内蔵し、ボールねじ、ベルト、外部駆動機構を不要にしました。
高速の個別駆動
各アタッチが最大3 G、1,000 mm/sで独立して動きます。
絶対位置フィードバック
高分解能のアブソリュートエンコーダーが位置をリアルタイムに検出するため、原点復帰なしで動作します。
画像認識による0.1 µm単位の補正
画像認識のフィードバックに基づき、各アタッチの位置を0.1 µm刻みで補正します。
保守負担の軽減
カム、リンク、ベルトがないため摩耗やバックラッシュが少なく、長期にわたり精度を維持できます。

ヘッド内部構造

ヘッド内部の透視レンダリング。上部のインターフェース基板、上下に並ぶ赤と青のマグネットアレイ、その間を移動する4個のアタッチブロック、両端のリニアガイドを示します。
  • マグネットアレイ
  • UVWリニアモーターコイル
  • 光学式アブソリュートエンコーダー
  • 保護カバー付きエンコーダースケール
  • インターフェース基板
  • リニアガイド
  • アタッチブロック
  • 高屈曲ケーブル

用途

装置に取り付けた個別ピッチ制御ヘッドが、ウェーハステージの上に4本のノズルを下ろしています。
図:左側の4×4トレー格子が、矢印の先では等間隔に並ぶ6個のアタッチに変わります。

トレーから工程へのピッチ変換

トレーのピッチを工程で必要なピッチに変換します。

図:画像認識カメラが下方の複数のアタッチを撮影し、それぞれの位置ずれを測定します。

画像認識による位置ずれ補正

画像認識の結果に応じて各アタッチの位置を補正します。

図:間隔の異なる5個のアタッチが、離れて配置された四角形の部品位置にそれぞれ合います。

非対称配列への対応

不規則なトレー配列を工程で必要な配列に変換します。

仕様

構成により仕様は変わります。・以下は4軸構成の一例です。

型番の構成

  1. PSIVHシリーズ
  2. アタッチ数
    • 02:2個並列
    • 04:4個並列
    • ほかの仕様も選択できます
  3. 最大移動ピッチ
    • 100 : 100 mm
    • 300 : 300 mm
    • ほかの仕様も選択できます
  4. アタッチ当たりの可搬質量
    • 300 : 300 g
    • 500 : 500 g
    • ほかの仕様も選択できます
個別ピッチ制御ヘッドの技術仕様
シリーズPSIVH
駆動方式リニアモーター・ダイレクトドライブ
位置繰り返し精度±0.003 mm
位置分解能0.1 ㎛
最高速度1,000 mm/s
最大加速度3 G
供給電圧24 / 48 Vdc
アタッチ当たりの電源24 Vdc · 1 A
電力(定格/ピーク)6.12 / 10.7 W
推力(定格/ピーク)12.2 / 21.4 N
電流(定格/ピーク)0.8 / 1.4 Arms
推力定数15.28 N/Arms
相数3
マグネットピッチ14.1 mm
エンコーダー光学式アブソリュート
出力信号Biss-C
センサー電圧5 Vdc
軸数4
最大移動ピッチ270 mm
アタッチ当たりの可搬質量700 g
外形寸法318(幅)× 38(奥行)× 170(高さ)mm
総質量約4 kg
取付部4-M5 TAP DP8・Ø5/Ø4位置決めピン
コネクターMolex 105310-1216 × 4(相手側コネクター:105308-1216)

※ ピッチ範囲15~60 mmを基準とします。

寸法・オプション

4軸構成例の外形図。平面図、正面図、側面図、背面図に、全幅318 mm、高さ170.20 mm、奥行38.20 mm、取付用4-M5タップおよびMolexコネクターの位置を示します。図面上のPSIVH-04-270-700は、この構成例の型番です。
設計承認前にご確認ください

アタッチブロックはお客様の図面に合わせて製作します。設置条件は承認図でご確認ください。

オプション

図:上、下、左、右の4方向から赤い矢印がヘッド本体を指しています。

4面取付

上下左右の4面から、任意の向きで取り付けられます。

図:Molexケーブルをヘッド背面のコネクターに差し込みます。

Molexクイック接続

Molexコネクターでケーブルの接続と配線を迅速に行えます。

図:ダイヤルゲージの測定子がアタッチバーに接し、真直度を測定します。

アタッチの精密位置合わせ

ダイヤルゲージを用い、真直度0.01 mm以内に位置合わせします。

ダウンロード

ファイルの取得には申請フォームの入力と個人情報への同意が必要です。

出典:製品リーフレット

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