PSMP

独立间距控制头

PSIVH 系列

每个拾取单元由独立的直线电机驱动。一个控制头可适配等间距、不规则及随机排列。

0.1 ㎛位置分辨率
±0.003 mm重复精度
1,000 mm/s最高速度
3 G最大加速度
独立间距控制头的产品渲染图,示例为 4 轴配置:四个拾取杆以不同间距悬挂在黑色机身下方。

间距控制

间距转换会将从托盘拾取的零件间距调整为工艺所需的间距。转换方式有两种,本产品采用独立控制方式。

等间距变换方式

所有拾取单元以相同间距同步移动,适用于重复的等间距转换。

等间距变换示意图:转换前等间距排列的六个拾取单元,在转换后以更大的间距排列,彼此仍保持等距。

独立间距控制本产品

每个拾取单元独立移动,可支持非对称排列并对各单元的位置分别补偿。

独立间距控制示意图:转换前等间距排列的六个拾取单元,在转换后分别移动到不同间距。

主要特点

各轴独立控制
每个拾取单元均可独立控制,因此一个控制头可处理等间距、不规则及随机排列。
紧凑型直接驱动
直线电机内置于控制头中,无需滚珠丝杠、皮带或外置驱动装置。
高速独立运动
每个拾取单元可独立运行,最高可达 3 G 和 1,000 mm/s。
绝对位置反馈
高分辨率绝对值编码器实时反馈位置,因此控制头无需回零即可运行。
基于视觉的 0.1 µm 补偿
依据视觉反馈,以 0.1 µm 为步进补偿每个拾取单元的位置。
维护需求低
无需凸轮、连杆或皮带,因此磨损和回程间隙较小,有助于长期保持精度。

控制头内部结构

控制头内部剖视渲染图:顶部为接口 PCB,上下各有一排红色和蓝色磁体阵列,四个拾取单元块在其间移动,两端设有直线导轨。
  • 磁体阵列
  • UVW 直线电机线圈
  • 光学式绝对值编码器
  • 带保护罩的编码器标尺
  • 接口 PCB
  • 直线导轨
  • 拾取单元块
  • 高柔性电缆

应用

安装在设备中的独立间距控制头,正将四个吸嘴降至晶圆台上方。
示意图:箭头左侧的 4x4 托盘网格经过转换后,变为一排等间距的六个拾取单元。

托盘到工艺的间距转换

将托盘间距转换为工艺所需的间距。

示意图:视觉相机观察其下方的多个拾取单元,并测量各自的位置偏差。

视觉偏差补偿

根据视觉反馈补偿各拾取单元的位置。

示意图:五个间距不等的拾取单元,分别对准分散排列的方形零件位置。

支持非对称排列

将不规则的托盘排列转换为工艺所需的排列。

规格

规格因配置而异。· 以下数据为 4 轴配置示例。

型号编号

  1. PSIVH系列
  2. 拾取单元数量
    • 02 : 2 并列
    • 04 : 4 并列
    • 还可选择其他规格
  3. 最大移动间距
    • 100 : 100 mm
    • 300 : 300 mm
    • 还可选择其他规格
  4. 每个拾取单元的负载
    • 300 : 300 g
    • 500 : 500 g
    • 还可选择其他规格
独立间距控制头技术规格
系列PSIVH
电机类型直线电机 · 直接驱动
重复精度±0.003 mm
位置分辨率0.1 ㎛
最高速度1,000 mm/s
最大加速度3 G
供电电压24 / 48 Vdc
每个拾取单元的供电24 Vdc · 1 A
功率(额定 / 峰值)6.12 / 10.7 W
推力(额定 / 峰值)12.2 / 21.4 N
电流(额定 / 峰值)0.8 / 1.4 Arms
推力常数15.28 N/Arms
相数3
磁极间距14.1 mm
编码器光学式绝对值
输出信号Biss-C
传感器电压5 Vdc
轴数4
最大移动间距270 mm
每个拾取单元的负载700 g
外形尺寸318 (W) x 38 (D) x 170 (H) mm
总质量约 4 kg
安装4-M5 TAP DP8 · Ø5 / Ø4 定位销
连接器Molex 105310-1216 x 4(配套连接器 105308-1216)

※ 基于 15-60 mm 的间距范围。

尺寸与选项

4 轴配置示例外形图:俯视、正视、侧视和后视图标示了总宽度 318 mm、高度 170.20 mm、深度 38.20 mm、4-M5 安装螺纹孔及 Molex 连接器位置。图纸上的 PSIVH-04-270-700 是该示例配置的型号编号。
设计确认前请核对

拾取单元块按客户图纸制作。请依据已批准的图纸确认安装条件。

选项

示意图:红色箭头从上、下、左、右四个方向指向控制头机身。

4面安装

可从四个侧面安装,方向不限。

示意图:Molex 电缆插入控制头背面的连接器。

Molex 快速连接

Molex 连接器可快速连接电缆并完成布线。

示意图:百分表测头接触拾取杆,以测量直线度。

拾取单元精密对准

使用百分表校准,直线度控制在 0.01 mm 以内。

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资料来源:产品宣传页

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